芯耀
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光刻机是一种关键的半导体制造工艺设备。主要应用于芯片和集成电路等微电子器件的制造过程中，可将芯片电路图案通过光学成像技术投射到硅晶圆上进行花纹的图形转移。
1.光刻机的用途
光刻机可以用于制造各种类型的微电子器件，包括处理器、存储器、传感器、激光器、太阳能电池板等等。它在微纳加工领域扮演着至关重要的角色。
2.光刻机的工作原理
光刻机利用紫外线光束曝光硅片上的照片阻变化来实现芯片电路的绘制。
第一步是涂覆光刻胶，使其均匀地分布在硅片表面上。
第二步是使用光刻机将电路图案投影在涂有光刻胶的硅片表面上。
第三步是使用化学蚀刻方法来去除未经曝光的光刻胶，以形成芯片电路所需的微小结构。
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