薄膜技术

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薄膜技术(thin film technique)是薄膜制备、测试等相关的各种技术的总称。

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    随着工艺进步至先进制程,薄膜厚度降至纳米级,传统光谱反射法失效。椭偏仪凭借对偏振光姿态的测量优势脱颖而出。椭偏仪发射线偏振光,经薄膜反射后形成椭圆偏振光,通过测量反射前后p/s分量的振幅比变化和相位差变化,转换为膜厚和折射率。此方法不受光源老化和表面污染影响,适用于高精度薄膜厚度检测。
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    2025/09/28
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