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SAQP(Self-Aligned Quadruple Patterning)是一种多重图案化技术,旨在克服传统光刻技术在制造小于38纳米特征时的限制。
SAQP(Self-Aligned Quadruple Patterning)是一种多重图案化技术,旨在克服传统光刻技术在制造小于38纳米特征时的限制。收起
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