半导体设备零部件供应商统计：电源、离子源（51家）

最近看到国内某半导体设备用电源供应商注册IPO的消息，我才意识到已经很久没有更新相关数据了

在各种半导体设备零部件里，设备电源模组被提及的次数是最多的之一。其重要性和受重视程度可见一斑。

事实上，在刻蚀、CVD、离子注入等设备领域，电源、尤其是射频电源的应用面非常广泛，而且其精度和功率大小对工艺结果也有决定性的影响。目前这个行业的高端领域主要还是被美国的AE（Advanced Energy）、MKS两家垄断，另外德国TRUMPF Hüttinger也号称推出了能够替代的高端射频模组，不过最近我也了解到国内几家头部的设备商也纷纷和国产供应商有了深度的合作，未来国产电源模组的发展应该也是值得期待的。

除了电源，我把等离子源的数据也一起整理发布了。上次发布的时候还只有37家，这次已经到了51家了  ......

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