亲探ASML，不只是一家光刻机公司

“ASML一直是一家低调的公司，但这几年随着国内半导体行业的快速发展，成为‘网红’公司，连行业外的人都知道光刻机这么“小众”的半导体设备了。” ASML全球高级副总裁、中国区总裁沈波打趣道。

 
图 | ASML全球高级副总裁、中国区总裁沈波

ASML到底是一家怎样的公司，扮演着怎样的角色？

从历史的维度来看，ASML诞生于上世纪八十年代，从公司成立时的简易房小棚子到现在拥有186亿欧元年营收额的全球性公司，历经三十多年的蜕变，已经成为半导体设备产业的佼佼者。

  
图 | 2017-2021年ASML营收情况

是什么因素让ASML取得成功？沈波直言：“ASML的成功一方面得益于开放式创新的策略，以共创共赢的方式做活生态；另一方面得益于始终如一地专注于光刻领域。”

至于ASML在业界扮演着怎样的角色？沈波表示：“整个芯片制造产业链涉及众多供应商和芯片制造设备，每一步工艺和每一台设备，都举足轻重。作为产业链上的重要一环，ASML并不是独行侠，而是开放合作的行业发展理念的积极倡导者。”

 
图 | 芯片制造流程与行业合作

ASML在中国，不只卖光刻机

外界对ASML的关注，更多集中在于ASML无法向中国大陆供货EUV光刻机上。实际上ASML在行业内的合作和参与深度，是外界无法想象的。很多客户都授予ASML“最佳合作伙伴”奖。从财务的角度来看，2021年ASML在全球的营收为186亿欧元，在中国的营收为27亿欧元，营收占比约为全球的14.7%，是其营收组成中重要的一部分。

尽管受到地缘政治的影响不可否认，但ASML一直秉持开放合作的行业发展理念，不希望半导体的产业链变得撕裂，从1988年第一台步进式光刻机进入中国起，积极响应中国集成电路行业的需求。目前，ASML正在为在中国的客户提供包括光刻机台、计算光刻、光学和电子束量测在内的全方位光刻解决方案。此外，ASML旗下的光源公司Cymer在中国也为客户提供用于DUV光刻机的ArF和KrF光源产品组合。

图 | ASML在中国

为了支持中国市场，ASML在中国不仅拥有由700多名客户服务工程师组成的中国专业客服团队，还组建了虚拟技术专家团队，来解决各种复杂问题，以卓越的服务能力与在客户紧密合作。

举个例子，当有客户的产线布局需要进行制程跨越的时候，ASML会配合去协调机器本身的配置、根据客户产品的特点在供应流程上的调整、产线布局的优化、产品产能的优化，以及产品良率的提升等，对此提供建议并配合客户进行优化。因此，ASML不只是一家出售光刻机公司，机器的型号是相对固定的，而如何帮助客户提升产能和良率则是灵活的。

此外，光刻机的构造非常精密，难免会遇到疑难杂症，而晶圆厂停机的成本是非常大的，所以当遇到问题时，如何在最短时间内解决问题保障客户实现正常的生产，再同步去分析问题，这是非常难的一个挑战。

在疫情封控期间，ASML征集了一批志愿者工程师在闭环管理下常驻客户的工厂，以确保其设备的稳定运行和持续生产，其中最长的一呆就是七十几天。这种紧密的合作，也得到了客户的充分认可和信任，其中不乏“最美逆行工程师”等各种客户认可奖项。

据悉，本土团队能够解决95%的客户问题，中国DUV的安装、升级、迁移服务已实现完全本土化。而2021年新建立的ASML中国维修中心，也将逐步开始向中国客户交付零部件，帮助客户缩短维修周期并提高成本效益。

亲探ASML：一线服务工程师不容易

为了进一步了解光刻机，笔者参加了ASML中国的媒体开放日，并参观了其在上海的全球培训中心，来了一场和光刻机的亲密接触。

位于上海的全球培训中心，是ASML全球六大培训中心之一，成立于2017年，2018年正式投入使用。ASML中国区人力资源总监王洪瑞在参观前的在线分享中提到：“对于进入ASML的客户服务工程师，无论他们是刚参加工作还是有一定工作经验，对于光刻机领域的了解还是不够的。所以对于这些新员工，ASML会安排40-50周的培训 ，其中包括10-15周的DUV和应用的理论和实践培训。”这个位于上海的全球培训中心正是为员工提供相关培训课程的地方之一，同时它还可以为客户提供培训课程。

在进入无尘环境的培训室前，我们都被安排穿上无尘服，从发帽、头盔、无尘服、带钢片的防护鞋、帽子、口罩、眼镜到手套，全副武装，光穿这套装备就花了十几分钟，穿完后进入除尘消毒通道，上一层楼再进入除尘消毒通道进行二次除尘消毒，经过特殊地带还要外加一个安全帽，这才算一个合格的听课者。这种培训环境和着装要求和真实的客户现场保持一致。

 
图 | ASML讲师向学员讲解DUV相关课程

我们一边听讲一边提问，从光刻机的结构原理、功能设计，到光刻的能耗等。据悉，光刻机主要有照明及物镜模组、掩模版传送及平台模组和晶圆传送及平台模组组成。整个光刻的过程将经历几十次的曝光、显影与烘烤、刻蚀、离子注入、光刻胶去除、沉积、光刻胶涂覆这样一个循环过程，逐层把掩模版上的电路图转移到晶圆上，形成最终如3D建筑般的片上电路。

此外，本次ASML还安排了光学量测仪器YieldStar的参观，该机台可嵌套在显影设备中使用，亦可单独使用，采用抽检的方式判断光刻设备的对准情况，达到实时反馈校准的目的。

短短1小时多的亲身体验过程已让人闷得难受，这些产线上的工程师实在是辛苦。而他们的辛苦不仅得到了公司的充分认可，并能够获得切实的关怀。 ASML为了吸引并保留更多的本土优质多元人才，不仅提供了业内颇具竞争力的薪酬福利，并着眼在身体健康、心理健康、财务健康、社交健康、职业发展健康这五大健康管理维度关爱员工，创造了极具吸引力的工作环境；更提供了完善的培训体系，如定制化培训、年度技术培训、软技能培训和角色轮岗等，快速提升人才的成长过程。

王洪瑞强调：“崇尚‘3C’文化——挑战求精（Challenge），合作共进（Collaborate）和关爱致远（Care）是ASML的理念和坚守，饱含着ASML对人才的尊重和投入。ASML希望与多元人才携手，不断拓展光刻技术的边界，驱动技术创新来解决人类生活中各种严峻挑战。”